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    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    • 產品型號:
    • 產品時間:2025-04-02
    • 簡要描述:光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統,用于搭配掃描電子顯微鏡,六自由度主動隔振。
    • 產品介紹

    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    產品概述

    歐庫睿因主動式隔振技術,高精度設備的*美展現!

    自從高分辨率測量和制造技術達到納米尺度以來,振動就一直是一個重要問題。有效消除振動干擾是獲得精確和可重復測量結果的關鍵。解決方法是將儀器與振動源隔離開來。典型的振動來源可能是:

    · 建筑物和地面的振動(垂直:5-30 Hz, 水平:0.5-10 Hz)

    · 聲學振動(>20 Hz)

    · 機動設備和機器(10-500 Hz)

    主動隔振的基本原理是通過產生反作用力對干擾振動進行主動補償。

    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    精選范例

    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    歐庫睿因主動隔振系統的工作原理

    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    應用設備和承載臺面由彈簧支撐。其目的是實現主動隔振所需的浮動狀態。承載臺面可以向各個方向移動。在工作狀態中,桌面上的應用設備與環境振動隔離。

    振動由極其靈敏的壓電式加速度計檢測。傳感器輸出信號由控制電路進行分析和處理,控制電路驅動電動執行器,電動執行器實時產生對抗振動的反作用力。主動隔振在6個自由度內有效。

    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    主要特征

    ■ 相比于氣浮式隔振臺,主動隔振臺沒有低頻共振,即使在低頻范圍內也有出色的隔振性能。

    ■ 超快的穩定時間:低至0.3秒(普通被動隔振臺的 穩定時間為30秒至60秒)。

    ■ 主動隔振臺帶寬0.6/1Hz 至200Hz (遠超被動隔振臺)。

    ■ 6個自由度主動隔振。

    ■ 真正的主動隔振:及時產生反作用力來抵消振動。

    ■ 操作簡單-按鈕式解決方案。

    ■ 設計緊湊,安裝簡便。

    ■ 高度的位置穩定性-1Hz時固有剛度通常是被動隔振臺的20到30倍。

    ■ 接電即可,無需壓縮空氣。

    ■ 適用于將高分辨率測量設備與建筑振動隔離。

    ■ 廣泛的適用范圍:擁有標準化產品和用戶定制產品。

    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    VarioBasic 40搭配成像橢偏儀

    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    i4 Large搭配3D輪廓儀


    歐庫睿因 | 光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統

    光學平臺:i4系列桌面式主動隔振系統


    i4

    i4  Medium

    i4Large

    尺寸

    400x500x90mm

    500x600x90mm

    550x700x92mm

    載重

    0-120kg

    0-105kg或40-150kg

    0-105kg 或40-105kg



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